一种电子特气纯化再生系统的开发与应用

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近年来,在我国工业水平高速发展的过程中,在化学工艺、气体分析及电子工业中大量使用超高纯的各种惰性气体。特别是随着信息化“互联网 +”时代的到来,作为技术密集型行业的集成电路行业得到了迅猛的发展,其产业所需的特种气体需求量也出现了快速提升。然而,由于传统工艺制备的惰性气体中通常含有一定的杂质,因其化学性而使惰性气体无法适用于高工艺性的要求。这也导致了在我国惰性气体行业中,普通惰性气体和高纯惰性气体之间的价格存在较大的利润差。 如何以较低的成本获得极高纯度的惰性气体,成为了整个行业的发展方向和技术目标。基于此,本项目组通过引进国外先进技术以及产品的设计生产理念,开发和生产各类气体纯化器以及气体纯化系统。在充分掌握国外气体纯化工艺核心技术的基础上,通过不断的研究创新,结合高品质的原材料和超高纯零部件,自主开发出 9NP、9NG、9NS 等9N 系列气体纯化设备可直接替代各种进口的气体纯化设备,为行业发展节约外资做出了一定的贡献。